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几种常见压力传感器,人类几乎已经离不开传感器了

时间:2022-07-15浏览量:27

传感器有许多分类方法,但常用的分类方法有两种,一种是按被测物理量来分;另一种是 按传感器的工作原理来分。按被测物理量划分的传感器,常见的有:温度传感器、湿度传感 器、压力传感器、位移传感器、流量传感器、液位传感器、力传感器、加速度传感器、转矩 传感器等。

压力传感器的分类

压力传感器是使用最为广泛的一种传感器,应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、軍工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。

常用的压力传感器有应变片压力传感器、陶瓷压力传感器、扩散硅压力传感器、蓝宝石压力传感器、压电压力传感器。压力传感器按用途分类主要是压力监视、压力测量和压力控制及转换成其他量的测量。按供电方式分为压阻型和压电型传感器,前者是被动供电的,需要有外电源。后者是传感器自身产生电荷,不需要外加电源,根据不同领域对压力测量的精度不同分为低精度和高精度的压力传感器。

传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量重,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。

半导体压电阻型:半导体压电阻抗扩散压力传感器是在薄片表面形成半导体变形压力,通过外力(压力)使薄片变形而产生压电阻抗效果,从而使阻抗的变化转换成电信号。

静电容量型:静电容量型压力传感器,是将玻璃的固定极和硅的可动极相对而形成电容,将通过外力(压力)使可动极变形所产生的静电容量的变化转换成电气信号。(E8Y的动作原理便是静电容量方式,其他机种采用半导体方式)。

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